三維輪廓儀是一種用于表面結構測量和表面形貌分析的測量和計量設備。它不僅可以用于科學研究，還可以用于工業產品的檢測，該儀器可被視為表面研究的萬用表。它利用接觸和非接觸功能的設計特點，彌補了兩種模式的局限性，發揮了表面形貌儀的測量極限。光學非接觸式具有速度快、直接三維成像、對樣品無損傷等特點。探針接觸模式方便快捷，樣品制備簡單，測量材料廣泛。兩種模式結合使用，可用于研究更多形狀、性質和材料的樣品的表面形態。